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Hitachi

株式会社日立プラントサービス

半導体製造プロセスや医薬品製造プロセスにおいて、製品の品質や安全性を確保するために清浄な環境が求められます。
当社の産業用クリーンルームは塵埃や菌・ウィルスなどからの汚染を防止し、製品の品質向上を支援します。

産業用クリーンルーム

工業用クリーンルーム

高性能フィルタを用いた空調換気システムで室内への塵埃流入を防ぎます。

医薬品用クリーンルーム

菌やウィルスなどクロスコンタミによる製品汚染を精密な圧力制御システムにより防止します。

気流解析による最適化技術


気流ベクトル解析


気流分布解析

精密環境チャンバ(宇宙産業・光学機器計測向け)

精密環境チャンバは光学機器測定用として精密な温度制御を行い、1/1000℃レベルの精密環境を実現します。
宇宙産業分野においては従来の真空条件下にて行われていた各種計測が大気圧下で可能となり、大幅なコスト削減と分析時間の短縮に貢献いたします。
本技術を核に、幅広く精密温調のニーズにお応えします。


精密環境チャンバ システム概念


イメージ外観

温度変動幅:±1/1000℃(大気圧下)