ページの本文へ

Hitachi

株式会社日立プラントサービス

クリーン化診断(パーティクル汚染)

経験豊富なクリーンルームの総合技術(施工、運転維持、評価技術)に基づいたクリーン化診断を行います。

概要

先進の測定・分析機器を活用してクリーンルームから装置内部に至るまで診断を行い、目にみえるほこりから分子レベルまで幅広くクリーン化に対応します。

クリーン化診断評価技術一覧

クリーン化診断評価技術一覧
No 測定項目 測定機器
1 塵埃 塵埃数 パーティクルカウンター
付着塵埃数 ウェーハ表面異物検査装置
塵埃元素分析 SEM-EDX
2 気流 気流分布 三次元超音波風速計
気流可視化 純水ミスト可視化装置
3 風速 微風速計
4 微差圧 デジタルマイクロマノメータ
5 温湿度 データロガー付電子温湿度計
6 化学物質 酸(F、Cl、NO3、SO4 陰イオンクロマトグラフ
アルカリ(Na、K、NH3 陽イオンクロマトグラフ
有機物(雰囲気 表面付着) TD-GC/MS
B、P、金属 ICP-MS
付着金属 TXRF
7 騒音 精密騒音計
8 振動 環境振動 サーボ型加速度変換器
9 電気的ノイズ 静電気 静電場測定器
磁場 ガウスメータ
電磁波ノイズ ダイポールアンテナ等+スペクトルアナライザ

クリーン環境計測装置

写真:走査型電子顕微鏡+エネルギー分散X線分析装置(SEM+EDX)
走査型電子顕微鏡+エネルギー分散X線分析装置(SEM+EDX)

写真:ウェーハ表面検査装置(PCA)
ウェーハ表面検査装置(PCA)

ケミカルコンタミネーションコントロール

有機、酸、アンモニアなどによる化学汚染物質を抑制し、クリーンルーム室内の適切な環境を維持するケミカルクリーンエンジニアリングを推進しています。各種測定分析技術を駆使して、ケミカルコンタミネーション*コントロールを行います。

*
ケミカルコンタミネーション:ケミカル汚染、分子汚染、AMC(Air-borne Molecular Contamination)などとも呼ばれる。

ケミカルクリーンエンジニアリング

画像:ケミカルクリーンエンジニアリングの概要

化学汚染物質の発生源と対策例

画像:化学汚染物質の発生源と対策例

クリーン環境計測装置

写真:全反射蛍光X線ウェーハ表面分析装置(TXRF)
全反射蛍光X線ウェーハ表面分析装置(TXRF)

写真:熱脱着型ガスクロマトグラフ質量表面分析装置(TD-GC/MS)
熱脱着型ガスクロマトグラフ質量表面分析装置(TD-GC/MS)

ケミカル汚染測定・分析技術

簡便かつ高精度に測定・分析・診断評価し、製品歩留り向上を支援するとともに、クリーンルームのコスト低減と効率化を実現します。

ダイナミック2重吸着管法

クリーンルームの建材から発生する有機物を測定・分析し、データベース化することで、ケミカル汚染物質の発生が少ないクリーンルームを構築します。

画像:クリーンルーム部材のアウトガス評価法と評価例
クリーンルーム部材のアウトガス評価法と評価例

シリコン単板法

製品に吸着した有機物を測定し、既設クリーンルーム環境の評価、装置内の汚染評価、ケミカルフィルタの寿命評価などに活用できます。

画像:シリコン単板法導入イメージ