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Hitachi

株式会社日立プラントサービス

電子・精密分野の製造プロセスで超精密温度環境を実現し、歩留り向上をサポートします。

概要

半導体やFPD分野などの精密な計測や微細な加工を行う現場では、空気温度や湿度、圧力といった環境因子の変動が計測・加工誤差の要因となっており、高度な環境制御が要求されています。
当社では、超精密計測・加工に要求される高品位な作業環境を提供するため、空気温度を±5/10,000℃レベルでコントロール可能な「サーマルプレシジョンキューブ」 を開発しました。

特長

  1. 精密な計測や微細な加工を行う装置の設置環境
    (ターゲット空間)を±5/10,000℃で制御
  2. 従来の真空チャンバによる方式に比べて安価

(当社比)

写真:精密環境チャンバ「サーマルプレシジョンキューブ」の外観

システム概要

画像:精密環境チャンバ「サーマルプレシジョンキューブ」システム概要

適用

  • 半導体・液晶装置部品の検査工程(基板、機械の伸縮防止)
  • 精密加工装置
  • 精密計測装置 他