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Hitachi

株式会社日立プラントサービス

ドライキューブ

低湿度精密環境設備

電子・精密分野の製造プロセスに低湿度環境を提供し、歩留り向上をサポートします。

概要

リチウムイオン電池や有機ELなどの製造工程では、きわめて低湿度な環境が要求されます。当社では、水分を嫌う製品の製造環境として、除湿した空気を供給するドライ(低露点)クリーンルームを提供します。

特長

  1. 独自の高効率除湿機を開発
  2. ケミカル成分を除去したクリーンドライエア(超低湿度空気)を供給
  3. 排熱の有効利用と給気・再生風量の最適化により、大幅な省エネルギー化

(当社比)

ドライクリーンルーム設備「エコドライキューブ」

露点-60℃の低湿度空気を供給します。

特長

  1. 露点温度-60℃の低湿度空気を供給
  2. 従来の乾式除湿機に比べて約50%の省エネルギー

(当社比)

画像:ドライクリーンルーム設備「エコドライキューブ」外観

システム概要

画像:ドライクリーンルーム設備「エコドライキューブ」システム概要

適用分野

  • リチウムイオン電池製造工程
  • 材料メーカー 他

超低露点除湿設備「クリーンドライキューブ」

露点温度-100℃の超低湿度空気を供給することにより、水分やケミカル成分までも除去します。

特長

  1. 露点温度-100℃の超低湿度空気を供給
  2. 高純度窒素ガスに比べて1/50以下にコストを低減

(当社比)

画像:超低露点除湿設備「クリーンドライキューブ」外観

システム概要

画像:超低露点除湿設備「クリーンドライキューブ」システム概要

適用分野

  • 有機EL・有機デバイス・半導体成膜工程
  • 半導体・FPD搬送保管工程
  • ナノテクノロジー分野 他