搬送動力の低減

クリーンルームの清浄度を確保するための空気の循環方法を変えることで省エネルギー化を図ります。

ローカルリターン方式クリーンルーム

クリーンルーム内に循環空気を通過させるリターンシャフトを形成し、空気搬送経路を短縮することによって、省エネルギー化を図ります。

ローカルリターン方式クリーンルーム

従来型空調機循環クリーンルーム

適用分野

• 電子デバイス製造工場
• 研究施設 他