必要エリアの清浄度を確保しつつ、クリーンルームの低コスト化、省エネルギー化を実現します。
クリーンルーム空気の一部を通風抵抗体を通して天井チャンバ内に戻すことにより、天井閉止パネル直下に形成される滞留域を効率よく低減し、少ないファンフィルタユニットで清浄空間を効率的に形成します。
(当社比)
半閉止板
製品周りの局所空間のみを高清浄にし、クリーンルーム全体の清浄度を緩和することによって、投資の抑制やランニングコストの低減を図ることができます。
アイリッド(垂れ壁)を設置した際の気流可視化実験
拡散型吹出口を設置した際の気流可視化実験
クリーンルーム面積を拡大し、生産エリアを拡げることによって工場の生産効率向上を図ります。
最先端の半導体量産ライン向けに、リターンダクトを無くしてもクリーンルーム内の清浄度、温度分布を満足できるリターンダクトレス・クリーンルームを開発しました。リターンダクトで占有されていたエリアも生産エリアとして利用できるため、面積効率の良いクリーンルームが構築できます。
従来のクリーンルーム方式
リターンダクトレス・クリーンルーム方式