精密空調チャンバ

電子・精密分野の製造プロセスで超精密温度環境を実現し、歩留り向上をサポートします。

概要

半導体やFPD分野などの精密な計測や微細な加工を行う現場では、空気温度や湿度、圧力といった環境因子の変動が計測・加工誤差の要因となっており、高度な環境制御が要求されています。
当社では、超精密計測・加工に要求される高品位な作業環境を提供するため、空気温度を±5/10,000℃レベルでコントロール可能な「精密空調チャンバ」を開発しました。

特長

システム概要

適用

• 半導体・液晶装置部品の検査工程（基板、機械の伸縮防止）
• 精密加工装置
• 精密計測装置 他