お客さまの事業を通じて、カーボンニュートラルに貢献する省エネ型CR（クリーンルーム）システムをご提案します。
天吊型空調機からの下降気流により、空調対象域の温調／除塵する省エネ型CRシステムです。
特許出願中 特開2023-58225、特開2023-58226
ダクト型ファンユニット方式と置換空調型CR方式のコストを比較した場合、搬送動力の低減により37%の省エネルギーとなる見通しです。
天吊型空調機に温調・除塵機能を有することにより空調ダクトとCR天井が不要です。
吊型空調機により、機械室の内調機およびCR室内の床置型空調機の設置スペースが不要です。
制御高さ1.2mH付近で、室内平均温度±2℃、清浄度クラス6以下相当の環境を確認しました。
いずれの方式も清浄度クラス6を満たし、高い清浄度を維持できる見込みです。
実規模の塵埃濃度分布
お客さまのご要望に沿ったクリーンルームを提供いたします。
用途：半導体検査室
床面積：1,250m2
階高：4.0m
温度：24±2℃
清浄度：クラス6
