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Hitachi

株式会社日立プラントサービス

当社は、これまで多くの電子工業用、研究施設用のクリーンルームを施工してきました。この豊富な経験と実績をもとに、清浄空間の構築だけでなく、生産・研究設備、ユーティリティ設備、防災対策設備など、クリーンルームに必要な要素をトータルに考え、お客様のニーズに応じたクリーンルームをご提案いたします。

電子工業用

写真:半導体用クリーンルーム
半導体用(300φ対応)クリーンルーム

写真:HDD用(ハードディスクドライブ)クリーンルーム
HDD用(ハードディスクドライブ)クリーンルーム

研究施設

東北大学殿未来情報産業研究館

写真:東北大学殿未来情報産業研究館外観

東北大学殿ナノ・スピン総合研究棟

写真:東北大学殿ナノ・スピン総合研究棟外観

広島大学殿

写真:広島大学殿研究施設内観