クリーン化技術
クリーン化診断（パーティクル汚染）
経験豊富なクリーンルームの総合技術（施工、運転維持、評価技術）に基づきクリーン化診断を行います。
概要
先進の測定・分析機器を活用し、クリーンルームから装置内部に至るまで診断を行います。目にみえるほこりから分子レベルまで、幅広くクリーン化に対応します。
クリーン化技術評価項目一覧
| No | 測定項目 | 測定機器 | |
|---|---|---|---|
| 1 | 塵埃 | 塵埃数 | パーティクルカウンター |
| 塵埃元素分析 | SEM-EDX | ||
| 2 | 気流 | 気流分布 | 三次元超音波風速計 |
| 気流可視化 | 純水ミスト可視化装置 | ||
| 3 | 風速 | 微風速計 | |
| 4 | 微差圧 | デジタルマイクロマノメータ | |
| 5 | 温湿度 | データロガー付電子温湿度計 | |
| 6 | 化学物質 | 酸（F、Cl、NO3、SO4） | 陰イオンクロマトグラフ |
| アルカリ（Na、K、NH3） | 陽イオンクロマトグラフ | ||
| 有機物（雰囲気・表面付着） | TD-GC/MS | ||
| B、P、金属 | ICP-MS | ||
| 付着金属 | TXRF | ||
| 7 | 騒音 | 精密騒音計 | |
| 8 | 振動 | 環境振動 | サーボ型加速度変換器 |
| 9 | 電気的ノイズ | 静電気 | 静電場測定器 |
| 磁場 | ガウスメータ | ||
| 電磁波ノイズ | ダイポールアンテナ等+スペクトルアナライザ | ||
ケミカルコンタミネーション*コントロール
有機物、酸、アンモニアなどによる化学汚染物質を抑制し、クリーンルーム室内の適切な環境を維持する「ケミカルクリーンエンジニアリング」を推進しています。各種測定・分析技術を駆使して、ケミカルコンタミネーション*コントロールを行います。
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- ケミカルコンタミネーション：ケミカル汚染、分子汚染、AMC（Air-borne Molecular Contamination）などとも呼ばれる。
ケミカルクリーンエンジニアリング
化学汚染物質の発生源と対策例
