ドライクリーンルーム
低湿度精密環境設備
電子・精密分野の製造プロセスに低湿度環境を提供し、歩留まり向上をサポートします。
概要
リチウムイオン電池や有機ELなどの製造工程では、非常に低湿度な環境が要求されます。当社では、水分を嫌う製品の製造環境として、除湿した空気を供給するドライ（低露点）クリーンルームを提供します。
特長
- 独自の高効率除湿機を開発
- ケミカル成分を除去したクリーンドライエア（超低湿度空気）を供給
- 排熱の有効利用と給気・再生風量の最適化により、大幅な省エネルギー化
（当社比）
ドライクリーンルーム設備
露点温度-60〜-100°Cの低湿度空気を供給します。
特長
省エネ・高効率運転
- 除湿機の給気風量や再生風量、給気露点温度、再生ヒーター能力を最適化し、省エネルギー運転を実現
- 再生排気の熱を有効利用し、排熱再利用による省エネを図る
最適なシステム設計
- 生産ラインの環境に合わせたプロセス対応設計技術で、トータルコストを低減
- 局所的に低露点化（局所ドライ化）することで、周辺環境の負荷を緩和し省エネを推進
超低湿度対応施工技術
- ダクトや内装材、設備開口部からの水分侵入を防止し、運転効率を向上
（当社比）
システム概要
適用分野
- リチウムイオン電池製造工程
- 材料メーカー 他
電池分野のドライユーティリティにおける技術開発
製造間接コストの削減や歩留まりの向上、 さらに超低露点環境を必要とする次世代電池製造など、 多様化するお客さまのニーズにお応えするため、 当社ではさまざまな技術開発に取り組んでいます。
特長
プロダクト開発
- メーカー協創による省エネ型除湿機
素材、要素技術研究・評価
- ダクト工法
- 内装材枯れ、湿分透過
- 露点センサー評価
省エネ・環境対応技術開発
- ユーティリティ全体の制御・監視
- 湿分発生源となるヒト（人流）管理
- 装置ブース（局所化）
- 各種設備の省エネ技術
デジタルソリューション
- エネルギー原単価管理
- カーボンニュートラル対応
- データ利活用による省エネシステム化
適用分野
- 有機EL・有機デバイス・半導体成膜工程
- 半導体・FPD搬送保管工程
- ナノテクノロジー分野 他