置換空調型クリーンルームシステム
お客さまの事業を通じて、カーボンニュートラルに貢献する省エネ型クリーンルームシステムをご提案します。
システムの概要
天吊型空調機からの下降気流により、空調対象域の温調/除塵する省エネ型クリーンルームシステムです。

特許出願中 特開2023-58225、特開2023-58226
特長
1.ランニングコスト削減

ダクト型ファンユニット方式と置換空調型クリーンルーム(CR)方式のコストを比較した場合、搬送動力の低減により、37%の省エネルギーが見込まれます。
- ※試算条件:床面積:1,500m2、清浄度クラス6
主な削減内容
- 作業域のみの温調・除塵により風量削減
- ダクトをなくし、圧力損失を削減
2.空調ダクト・天井レス
天吊型空調機に温調・除塵機能を持たせることで、空調ダクトおよびクリーンルーム天井が不要となります。
3.製造エリア拡大
天吊型空調機の採用により、機械室の内調機およびクリーンルーム内の床置型空調機の設置スペースが不要となります。
室内環境評価
実施試験
制御高さ1.2 m付近において、室内平均温度±2°C、清浄度クラス6以下相当の環境を確認しました。
- ※測定条件:熱負荷:210W/m2、発塵負荷:室内平均で32,000個/m3、換気回数:17回/h

熱流体解析
いずれの方式も清浄度クラス6を満たし、高い清浄度を維持できる見込みです。
実規模の塵埃濃度分布

納入事例
お客さまのご要望に沿ったクリーンルームを提供いたします。

2023年度納入
用途:半導体検査室
床面積:1,250m2
階高:4.0m
温度:24±2℃
清浄度:クラス6