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株式会社日立プラントサービス

Hitachi

精密洗浄設備

電子・半導体及び関連精密部品分野では、「洗浄」は品質と歩留りを向上させるために大切なプロセスです。
また、FA化へのニーズの中で、洗浄システムの自動化も重要な課題になっています。
当社では、お客様が必要とされる洗浄システムのために、プロセスづくりからお手伝いし、最適な洗浄システムをご提案するとともに、ソフトエンジニアリングを通じて幅広いニーズにお応えできる体制を整えています。

セラミックス・石英自動洗浄装置
セラミックス・石英自動洗浄装置

ガラス基板自動洗浄装置
ガラス基板自動洗浄装置

適用分野

適用分野
業種 洗浄対象
電子・半導体
  • フォトマスク用ガラス基板
  • プリント基板
  • シリコンウエハ
  • 化合物半導体基板
  • 磁気ディスク基板
  • 液晶基板
精密機械部品
  • 半導体製造装置精密部品
  • HDD装置部品
  • 計測器部品
  • 半導体用バルブ・継手
  • 金型部品
光学機械部品
  • レンズ、プラスチックレンズ
  • 光学機械部品
その他
  • 各種プラスチック部品
  • 各種機械部品

精密部品自動洗浄装置
精密部品自動洗浄装置